通常，离子束刻蚀系统 考夫曼对于气体流量控制器的气体管道接头，选择快速螺纹接头或卡套接头，以适应工艺气体真空管道的密封。真空等离子清洗机处理特殊物料时，需要使用液态单体作为排放介质，手动浮子流量计作为流量控制器。对于腐蚀性单体，应使用防腐型浮子流量计。如果真空环境比较恶劣，建议使用高度密闭的转速表。
